利用熱電偶的電勢與加熱元件的溫度有關，元件的溫度又與氣體的熱傳導有關的原理來測量真空度的真空計。

作原理

熱電偶接在白金或鎢的細線上。這段細線通過電后會發熱。發出的熱量通過周圍氣體分子的熱傳導,或細線本身的固體熱傳導,或熱輻射放出。利用氣體分子承擔的熱傳導量與壓力成正比的點是此真空計的原理。

如果保持細線的發熱量即保持定的電,則周圍壓力的時候氣體奪走的熱量較多,致使細線的溫度較低。反過來周圍壓力低的時候細線的溫度會升。這種溫度的變化通過熱電偶檢測出來,將熱電偶的起電力換成壓力之后即可知真空腔內的壓力。

作原理

熱電偶接在白金或鎢的細線上。這段細線通過電后會發熱。發出的熱量通過周圍氣體分子的熱傳導,或細線本身的固體熱傳導,或熱輻射放出。利用氣體分子承擔的熱傳導量與壓力成正比的點是此真空計的原理。

如果保持細線的發熱量即保持定的電,則周圍壓力的時候氣體奪走的熱量較多,致使細線的溫度較低。反過來周圍壓力低的時候細線的溫度會升。這種溫度的變化通過熱電偶檢測出來,將熱電偶的起電力換成壓力之后即可知真空腔內的壓力。

熱偶真空計的校準

熱偶真空計在使用前也需要行校準，熱偶規管在未開封前真空度已抽至為10^-2~10^-3Pa。將熱偶規管與儀器連接，使管座垂直向上，接通儀器電源開關，預熱10min,"熱偶轉換"開關置"加熱電"位置，調節"加熱電"旋鈕，使加熱電達到規定值(加熱電標注在每支熱電偶真規管的管座上或使用說明書中)，熱偶真空計針滿度，持續1min，再將"熱偶選擇"開關放在"測量"位置上，這樣反復測定三次，成熱偶真空計的校準作。

在熱偶規管內

氣體導熱是氣體與熱絲碰撞的結果且與熱絲表面狀況有關。因此，應保持管內及熱絲表面狀清潔，般不要在大氣壓狀態下對熱絲加熱，盡量減少油蒸氣污染。

熱偶規管對電磁場敏感，測量時應避免外界電磁場干擾，如測量中不要使頻火花移近熱偶規管。